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明洪武初年（1368年）子定复至少林寺。一年后僧众渐渐回寺，已达五百多人。1538年）等前后住持少林寺。这一时期的少林寺处于安稳发展时期。

唐朝初年，因少林十三僧的王战功，登封少林寺可以复立，土地得以归还；同时还获赐大量田产，这些都为少林寺的发展奠定了良好的经济基础。唐朝初年，少林寺进行了大规模的恢复重建。依地势高低分为上方（西台）、下方，共有十二院。上方风景最佳，分布着翻经堂、舍利塔、跋陀灵塔、普光佛堂岭村等建筑知识。

初到少林寺的三年中，法如仍默默劳作于大众之中，不言其身份。法如先到淮南，后到嵩山闫家庄村委会少林寺。至垂拱二年（686年），四海标领，僧众集于少林寺，众僧人见其为人言寡不俗，推他再振玄纲，开释禅法。他应允庞众望，讲法深渊，影响很大。复有大师法如，为定门之首，传灯妙理。弟子惠超，妙思奇拔，远契玄踪，文翰焕然，宗涂易晓。

至垂拱二年（686年），四海九州标领，僧众集于少林寺武僧团，众僧人见其为人言寡而不俗，拉他再振玄纲，开释禅法。复有大效法如，为定门之首，传灯妙理。弟子惠超，妙思奇拔，远契玄踪，文翰焕然，宗涂易晓。该碑坐于武则天永昌元年（689年），当时神秀、慧能都在世，未见其提出异议，可知这一传承表较符合史实。他应允众望，讲法深渊，反应很大。716年）及新罗僧惠超。

众多弟子出任各地的僧官。只剩老弱残者二十多人。明代初年，少林寺僧对遭受元末战火破坏的寺院进行了大规模的整修，如千佛阁、立雪亭、六祖殿、紧那罗殿、法堂、尖沙咀钟楼等。在塔林中，明塔多达140余座，居历代之冠。其时，朝廷直接过问教事，并树立了管理僧伽的专门机构。天下设僧司，以总其教。明代高僧有子定禅师、松庭禅师、月舟禅师、小山禅师、无言道公等。明洪武初年（1368年）子定复至少林寺。